| 摘要 |
작업물 배치용 스테이지에 접촉 분리 가능해지는 이중 컵에 의한 세정조에서, 이중 컵의 내측 컵에 세정 노즐을 부설하고 내외측 컵으로 구성되는 통로를 배액 또는 배기 용 유로로 하는 구조이고 밀봉형 청정조이며, 소용돌이 형상의 흐름을 만들고 작업물에 균일하게 세정액이 분사되며 균일한 청정이 가능해지고 통로에 의한 흡인 효과와 내측 컵의 주변부에는 흡인력이 생성되며 소용돌이의 발생을 가능하지만, 소용돌이 발생력이 약하므로 소용돌이의 토네이도 효과는 기대할 수 없는 것으로 생각되는데, 본 발명은 캡슐형 개폐 자유로운 세정실과, 세정실의 한쪽에 설치한 노즐과, 다른쪽에 설치한 흡인부와, 세정실내에 설치한 회전 자유로운 작업물 지지대로 구성한 캡슐형 세정기이고, 세정실에서 노즐로부터 분사되는 세정액, 세정수, 또는 공기를 선회함과 동시에 흡인부에 유도 가능하게 하는 구성으로 한 것을 특징으로 한다. |
