| 摘要 |
【課題】複数の液処理部における圧力変動を抑制する。【解決手段】液処理装置は、複数の液処理部と、複数の個別排気路と、共通排気路と、第１外気取込部と、第１調整弁と、第２外気取込部と、第２調整弁とを備える。複数の液処理部は、被処理体を液処理する。複数の個別排気路は、液処理部内からの排気が流れる。共通排気路は、複数の個別排気路からの排気が流れる。第１外気取込部は、共通排気路において個別排気路が接続される複数の接続部位よりも最上流側に設けられ外気を取り込む。第１調整弁は、第１外気取込部に設けられ外気の流量を調整する。第２外気取込部は、共通排気路において複数の接続部位のうち最上流に位置する接続部位よりも下流側に設けられ外気を取り込む。第２調整弁は、第２外気取込部に設けられ外気の流量を調整する。【選択図】図７Ｃ |
