| 摘要 |
【課題】 簡易な構成でありながら処理液の漏洩を正確に検出することが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】 プリディスペンスポットには、鉛直方向を向く第１流下部３２と、鉛直方向に対して傾斜した傾斜部３３と、鉛直方向を向く第２流下部３４とから成る排液管が接続されている。この排液管は、図示を省略した処理液の回収部と接続されている。排液管における傾斜部３３の両側には、投光部５１と受光部５２とから成るセンサが配設されている。このセンサのうち、投光部５１は、排液管における傾斜部３３の直下の位置に、傾斜部３３の中心に向けて検出光を出射するような状態で配設されている。また、受光部５１は、傾斜部３３に対して、投光部５１と対向する位置に配設されている。【選択図】 図３ |
