发明名称 半導体記憶装置
摘要 【課題】半導体記憶装置において、チャネルの薄膜化及び高移動度化を実現する。【解決手段】実施の形態の半導体記憶装置は、メモリセルを備える。このメモリセルは、酸化物半導体層と、ゲート電極と、当該酸化物半導体層と当該ゲート電極との間に配置された電荷蓄積層と、を備える。この酸化物半導体層は、n型酸化物半導体層とp型酸化物半導体層との積層構造を含む。【選択図】図5A
申请公布号 JP2017034144(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20150153924 申请日期 2015.08.04
申请人 株式会社東芝 发明人 太田 健介;入沢 寿史;河井 友也;松下 大介;手塚 勉
分类号 H01L21/336;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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