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发明名称
Stage and dispenser having the same
摘要
본 발명은, 스테이지 및 이를 구비하는 디스펜서에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 스테이지에 있어서, 상기 기판과 마주하는 면에 형성된 상부 홀과 상기 상부 홀과 연결되는 측면 홀을 포함하는 기판 안착 부재 및 상기 기판 안착 부재를 수용하기 위한 스테이지 베이스를 포함하는 것을 특징으로 하며, 단순한 구조로 인하여 평탄도가 우수한 스테이지 및 이를 구비하는 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
申请公布号
KR101703716(B1)
申请公布日期
2017.02.08
申请号
KR20090125057
申请日期
2009.12.15
申请人
주식회사 탑 엔지니어링
发明人
조수형
分类号
H01L21/68;B05C11/10
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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