| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung, umfassend eine Maßverkörperung (40) und eine Abtasteinheit (10), die in einer Messrichtung (X) relativ zueinander beweglich angeordnet sind, wobei auf der Maßverkörperung (40) eine Messteilung (41) angeordnet ist, die von der Abtasteinheit (10) zur Erzeugung von Positionssignalen abtastbar ist und die Abtasteinheit (10) hierzu eine Beleuchtungseinheit (20) und eine Detektoreinheit (30) umfasst, wobei von der Beleuchtungseinheit (20) Licht in Richtung der Messteilung (41) aussendbar ist und von der Messteilung (41) moduliertes Licht von der Detektoreinheit (30) detektierbar ist und wobei die Detektoreinheit (30) eine Leiterplatte (31) und eine Sensoreinheit (32) umfasst, die als Halbleiterchip ausgebildet ist. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass auf einer der Messteilung (41) zugewandten Vorderseite der Sensoreinheit (32) wenigstens zwei Fotodetektoren (35) angeordnet sind und die elektrischen Anschlüsse der Sensoreinheit (32) mittels metallischer Durchkontaktierungen (36) zu Kontaktflächen (33) auf deren Rückseite geführt sind und die Sensoreinheit (32) über die Kontaktflächen (33) an korrespondierende Kontaktflächen (34) auf der Leiterplatte (31) angeschlossen ist. |
