| 摘要 |
【課題】ノズルに送液される塗布液に異物および気体成分が含まれるのを抑制して基板に塗布液を良好に塗布する。【解決手段】基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、塗布液を貯留する貯留部９１と、基板に向けて塗布液を吐出するノズル２と、貯留部９１からノズル２に塗布液を流通させる配管と、配管に介設されて塗布液をノズル２に送液するポンプ９４と、貯留部９１とポンプ９４の間の配管に介設されて貯留部から供給される塗布液中に存在する異物を除去するフィルター９７と、フィルター９７とポンプとの間の配管９５２に介設されてフィルターを通過した塗布液から気泡を除去する第１脱気部９２とを備えている。【選択図】図３ |
