| 摘要 |
【課題】パッケージ基板の変形がセンサ素子の計測精度に与える影響を抑制できるようにした物理量センサを提供すること。【解決手段】物理量センサ１は、所定の物理量を検出して電気信号を出力するセンサ素子１０と、センサ素子に接続される複数のリード部２２と、センサ素子および複数のリード部を収容するパッケージ基板３０とを備える。複数のリード部は、その基端側がパッケージ基板側に接続され、その先端側がセンサ素子側に接続されており、複数のリード部は、センサ素子がパッケージ基板に接触しないように、かつパッケージ基板側の変形がセンサ素子へ伝わるのを抑制するように、センサ素子を支持する。【選択図】図２ |
