| 摘要 |
【課題】弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、封止部の交換を短時間で容易に行うことができるゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法を提供する。【解決手段】ゲート装置１０は、複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体２０と、弁体２０における各平面にそれぞれ設けられた封止部（例えば、シール材２２）と、弁体２０が収容され、開口１４が設けられている弁体収容部１２とを備えており、弁体収容部１２に設けられている開口１４を、複数の封止部のうちある一つの封止部により選択的に封止することができるようになっている。【選択図】図２ |
