| 摘要 |
【課題】導光部の集光特性の低下を防ぐのに有利な技術を提供する。【解決手段】固体撮像装置の製造方法は、光電変換部が形成された基板とその上に設けられた絶縁部材とを含む構造を用意する工程と、前記光電変換部の上方において、前記絶縁部材に、前記基板の上面より高い位置に底面を有し傾斜した第１側面を有する第１開口を形成する工程と、前記第１開口を埋めるように第１部材を形成する工程と、前記光電変換部の上方において、前記第１部材に第２開口を形成する工程と、前記第２開口が形成された前記第１部材をマスクとして用いて前記絶縁部材のうちの前記第２開口の下の部分をエッチングすることにより、第２側面を有する第３開口を前記絶縁部材に形成する工程と、前記第３開口を埋めるように第２部材を形成する工程とを含み、前記第１側面と前記基板の上面とが成す角は、前記第２側面と前記基板の上面とが成す角よりも小さい。【選択図】図１ |
