| 摘要 |
본 발명은 천연계 태양광 웨이퍼 세정제 조성물에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 천연계 태양광 웨이퍼 세정제 조성물은 천연 유래의 비이온 계면활성제과 보조 계면활성제; 당계 첨가제; 무기염기나 유기염기 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 적어도 1종의 화합물; 및 물을 포함하며, 본 발명의 천연계 태양광 웨이퍼 세정제 조성물은 태양광 웨이퍼의 표염오염에 대하여 우수한 세정력과 오염원의 재부착 방지력을 가지며, 태양광 웨이퍼의 세정공정 이후 웨이퍼 표면에 흑점(dark spot)과 같은 얼룩의 발생이 없고, 후공정에 영향을 미치지 않으며, 인체 안전성과 환경 안전성이 우수하다. |
