发明名称 圧電デバイス
摘要 A piezoelectric device has a first electrode film, a piezoelectric film provided on the first electrode film, and a second electrode film provided on the piezoelectric film. At least one of the pair of electrode films is composed of an alloy, and a major component of the alloy is a metal selected from the group consisting of Ti, Al, Mg, and Zn.
申请公布号 JP6065023(B2) 申请公布日期 2017.01.25
申请号 JP20140554643 申请日期 2013.05.14
申请人 TDK株式会社 发明人 佐久間 仁志;倉知 克行;會田 康弘;前島 和彦;中島 真由美
分类号 H01L41/047;H01L41/187;H01L41/29 主分类号 H01L41/047
代理机构 代理人
主权项
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