| 摘要 |
ワークの全面を適正に加圧することのできる加圧装置、および加圧方法を実現するために、加圧装置（１）には、ワーク載置面（２１）を備えたテーブル（２）と、ワーク載置面（２１）に対向する加圧ヘッド（３）と、加圧ヘッド（３）のを加圧するメイン加圧軸（４）と、メイン加圧軸（４）の周りで加圧ヘッド（３）を加圧する複数のサブ加圧軸（５）と、メイン加圧軸（４）による加圧条件、および複数のサブ加圧軸（５）による加圧条件を制御する制御部（６）とを設ける。メイン加圧軸（４）が加圧ヘッド（３）のを背面側から加圧した際、ワーク（１０）のには大きな荷重が加わる一方、ワーク（１０）の端部には小さな荷重が加わることになるが、複数のサブ加圧軸（５）がメイン加圧軸（４）の周りで加圧ヘッド（３）の背面側から加圧するため、ワーク（１０）のと端部とにおける荷重のバランスを適正化することができる。 |
