| 摘要 |
【課題】成長した窒化ガリウム結晶の応力分布を小さくする。【解決手段】窒化ガリウム結晶の製造方法は、ａ軸長の格子定数が０．３１８９ｎｍより小さい柱状の第１の窒化ガリウム結晶を準備する準備工程と、第１の窒化ガリウム結晶の周囲に第２の窒化ガリウム結晶を成長させる成長工程とを備える。第１の窒化ガリウム結晶のｃ軸長の格子定数が０．５１７０ｎｍより小さいことが好ましい。準備工程は、フラックス法により１つ以上の窒化ガリウム結晶を製造する第１の工程と、１つ以上の窒化ガリウム結晶の中から第１の窒化ガリウム結晶を選別する第２の工程とを含む。【選択図】図１ |
