一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂

摘要

一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂，涉及硅材料加工技术领域，由以下重量份的原料制成：丙醇80‑86份、苯酚15‑25份、羧甲基纤维素钠2‑4份、椰油酸6‑8份、胶体粒子15‑25份、烷基磺酸钠2‑4份、焦磷酸钾6‑8份、滑石粉15‑25份、醋酸20‑30份、柠檬酸6‑8份、葡糖酸洗必太3‑5份、葡庚糖酸钠2‑4份、去离子水850‑860份。本发明的有益效果是：本发明制备方法简单，配方合理，制备的清洗剂，配合超声波清洗技术，能高效去除附着硅片上的各种污垢，效果良好，不会产生残留，无污染，清洗效果显著，原料易得，成本低下。

主权项

一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂，其特征在于，由以下重量份的原料制成：丙醇80‑86份、苯酚15‑25份、羧甲基纤维素钠2‑4份、椰油酸6‑8份、胶体粒子15‑25份、烷基磺酸钠2‑4份、焦磷酸钾6‑8份、滑石粉15‑25份、醋酸20‑30份、柠檬酸6‑8份、葡糖酸洗必太3‑5份、葡庚糖酸钠2‑4份、去离子水850‑860份。