| 摘要 |
본 발명은 기판이 통과하여 이송될 수 있고 작업 가스가 공급될 수 있는 채널을 둘러싸는 노 본체(2)와 커버(6)를 포함하는 관통형 노에 관한 것이다. 커버(6)는 적어도 하나의 공정 개구부를 포함한다. 서로 탈착식으로 연결되는 상기 관통형 노의 개별 부품 간 경계면에는 대향 결합면(11, 12)이 형성되어 있다. 상기 경계면 중 적어도 일부는 작동시 진공이 공급될 수 있는 홈(15)을 포함한다. 결합면(11, 12) 사이의 불가피한 갭으로 유입되는 공기는 흡입에 의해 홈(15)을 통해 취출되고 노의 내부 공간에는 도달하지 않는다. 본 발명은 또한 이러한 관통형 노가 구비된 다이 본더에 관한 것이다. |
