RESIST MATERIAL RESIST COMPOSITION AND RESIST PATTERN FORMATION METHOD

摘要

본 발명에 따른 레지스트재료는, 하기식(1)로 표시되는 화합물을 함유한다.(식(1) 중, R은 각각 독립적으로, 산소원자를 포함하는 1가의 기, 황원자를 포함하는 1가의 기, 질소원자를 포함하는 1가의 기, 탄화수소기 또는 할로겐원자이고, p는, 각각 독립적으로, 0~4의 정수이다.)