摘要 |
【課題】 遮光性能を向上させた電荷保持部を有する固体撮像装置、及びそれを用いた撮像システムを提供する。【解決手段】 半導体基板に配された光電変換部と、電荷保持部と、フローティングディフュージョン部と、半導体基板上に配され、光電変換部と電荷保持部との間に配された第1のゲート電極と、半導体基板上に配され、電荷保持部とフローティングディフュージョン部との間に配された第2のゲート電極と、を有する固体撮像装置において、電荷保持部の上と、少なくとも第1のゲート電極と第2のゲート電極のいずれかの上に配された第1の部分と、第1のゲート電極と第2のゲート電極との間に配され、前記半導体基板の表面側に前記第1部分から延在した第2の部分とによって構成される遮光部を有する。【選択図】 図2 |