| 摘要 |
組み立てが容易であり、かつ組み立ての再現性の高いグリッドアセンブリ、および該グリッドアセンブリを備えるイオンビームエッチング装置を提供することを目的とする。本発明の一実施形態に係るグリッドアセンブリ（１０９）は、３枚の円板状のグリッドが重なって構成されており、３枚のグリッドを固定するための３つの固定孔（１１６）と、３枚のグリッドの位置決めを行うための３つの位置決め孔（１１７）とを有する。組み立ての際には、第１のリング上に設けられた位置決めピンが、各位置決め孔に挿入されるように、第１のリング上に３枚のグリッドを重ねる。次に、３枚のグリッド上に第２のリングを重ね、固定孔にボルトを挿入し、固定を行う。このように、固定された位置決めピンを用いて位置決めを行い、その後に固定を行うことができるため、組み立てが容易である。 |
