| 摘要 |
【課題】反射膜間の間隔を安定して正確に調節できることが可能な波長選択素子を提供する。【解決手段】間隙をおいて互いに対向する第１及び第２の平面をそれぞれ有して配置された透光性の第１及び第２の基板１１Ａ、１１Ｂと、第１の基板に設けられて第２の平面に対向する可動部１３と、第１の基板に設けられて第２の平面に対向し、可動部を第２の平面に垂直な方向に移動可能に支持する支持部１４と、可動部の第２の平面に対向する面に設けられた第１の反射膜１２Ａと、第２の平面上に第１の反射膜に対向して設けられた第２の反射膜１２Ｂと、第１及び第２の平面の各々上において互いに対向して配置され、電圧印加によって可動部を移動させる第１及び第２の電極膜１５Ａ、１５Ｂと、を有し、第１の電極膜は、可動部及び支持部上に跨って形成されている。【選択図】図３ |
