一种基于石墨烯量子点的微测辐射热计

摘要

本发明提供一种基于石墨烯量子点的微测辐射热计，包括如下结构：包括衬底；所述衬底中部开设凹槽，所述凹槽上方悬空设置有石墨烯量子点，所述石墨烯量子点通过石墨烯条带连接，所述石墨烯条带两端延伸出石墨烯薄膜覆盖于凹槽两侧的衬底上形成石墨烯电极。所述的微测辐射热计的主要特征是通过微纳加工技术形成悬空岛状石墨烯量子点阵列，利用凹槽悬空带来的隔热效应增大相同入射光功率下的器件温度变化，利用量子化石墨烯带来器件电阻温度系数提升，基于微测辐射热计原理实现光电探测。由于石墨烯材料在红外波段的吸收特性，本发明提供的微测辐射热计可用于中远红外及太赫兹波段的光电探测，对目前的红外光电探测器提供新颖的解决方案。

主权项

一种基于石墨烯量子点的微测辐射热计，其特征在于，包括衬底；所述衬底中部开设凹槽，所述凹槽上方悬空设置有石墨烯量子点，所述石墨烯量子点通过石墨烯条带连接，所述石墨烯条带两端延伸出石墨烯薄膜覆盖于凹槽两侧的衬底上形成石墨烯电极。