METHOD OF MANUFACTURING A NANO METAL OXIDE PARTICLE HAVING A HOLLOW STRUCTURE

摘要

중공 구조를 갖는 나노 금속 산화물 입자의 제조 방법에 있어서, 금속 산화물 전구체, 탄화 가능한 유기물 및 용매로 이루어진 용액을 이용하는 분무 건조 공정을 수행하여 복합체 분말을 형성한다. 복합체 분말에 대하여 환원가스 분위기에서 제1 열처리 공정을 수행하여, 복합체 분말 내의 유기물로부터 탄화된 탄소 입자 및 복합체 분말 내의 금속 산화물 입자로부터 환원된 금속 입자를 포함하는 탄소 매트릭스 복합체를 형성한다. 이후, 탄소 매트릭스 복합체에 대하여 산화 분위기 하에서 커켄들(kirkendall) 확산 효과를 이용하는 제2 열처리 공정을 수행하여, 탄소 매트릭스 복합체로부터 중공의 나노 금속 산화물 입자들을 형성한다.