发明名称 PREPARING METHOD OF METAL CHACOGENIDE FILM
摘要 본 발명은 금속 칼코게나이드 필름의 제조방법에 관한 것으로, 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition, CVD) 또는 원자층 증착법(atomic layer deposition, ALD)을 이용하여 높은 광흡수계수를 가지고 있어 태양전지의 광흡수층으로 이용 가능한 금속 칼코게나이드 필름의 제조방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20160133727(A) 申请公布日期 2016.11.23
申请号 KR20150066622 申请日期 2015.05.13
申请人 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 发明人 KANG, SEONG GU;LEE, YOUNG KUK;CHUNG, YOON JANG;KIM, CHANG GYOUN;CHUNG, TAEK MO;LEE, SUN SOOK;PARK, BO KEUN;HAN, JEONG HWAN;JEONG, SEOG JONG
分类号 H01L31/0256;H01L31/18 主分类号 H01L31/0256
代理机构 代理人
主权项
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