본 발명은 금속 칼코게나이드 필름의 제조방법에 관한 것으로, 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition, CVD) 또는 원자층 증착법(atomic layer deposition, ALD)을 이용하여 높은 광흡수계수를 가지고 있어 태양전지의 광흡수층으로 이용 가능한 금속 칼코게나이드 필름의 제조방법에 관한 것이다.
申请公布号
KR20160133727(A)
申请公布日期
2016.11.23
申请号
KR20150066622
申请日期
2015.05.13
申请人
KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
发明人
KANG, SEONG GU;LEE, YOUNG KUK;CHUNG, YOON JANG;KIM, CHANG GYOUN;CHUNG, TAEK MO;LEE, SUN SOOK;PARK, BO KEUN;HAN, JEONG HWAN;JEONG, SEOG JONG