镀敷设备

摘要

一种镀敷设备，包括：台，能够可拆卸地保持基板的基板保持器放置在台上；保持镀敷溶液的镀敷部用于通过将基板在竖直面中浸没在镀敷溶液中而对基板进行镀敷；和用于在台和镀敷部之间运送基板保持器的基板保持器运送器，其包括用于保持基板保持器的保持部分；和用于打开和闭合基板保持器的基板保持器打开和闭合机构；基板保持器包括：可移动支撑构件；和用于与可移动支撑构件协同夹持基板的固定支撑构件；基板保持器打开和闭合机构包括：用于按压可移动支撑构件的头部分，其至少具有将可移动支撑构件相对于固定支撑构件紧固和释放的可旋转的一部分；用于竖直地移动头部分的第一致动器；和用于至少旋转头部分的一部分的第二致动器。

主权项

一种镀敷设备，其特征在于，包括：台，基板保持器放置在所述台上，所述基板保持器能够可拆卸地保持基板；镀敷部，在所述镀敷部中保持镀敷溶液，所述镀敷部用于通过将所述基板在竖直面中浸没在所述镀敷溶液中而对由所述基板保持器保持的所述基板进行镀敷；和基板保持器运送器，所述基板保持器运送器用于在所述台和所述镀敷部之间运送所述基板保持器，所述基板保持器运送器包括用于保持所述基板保持器的保持部分；和基板保持器打开和闭合机构，所述基板保持器打开和闭合机构用于打开和闭合放置在所述台上的所述基板保持器；其中，所述基板保持器包括：可移动支撑构件；和固定支撑构件，所述固定支撑构件用于与所述可移动支撑构件协同夹持所述基板，所述可移动支撑构件被可移除地紧固到所述固定支撑构件；并且其中，所述基板保持器打开和闭合机构包括：头部分，所述头部分用于按压所述可移动支撑构件，所述头部分至少具有将所述可移动支撑构件紧固到所述固定支撑构件和将所述可移动支撑构件从所述固定支撑构件释放的可旋转的一部分，所述可移动支撑构件被所述头部分可移除地保持；第一致动器,所述第一致动器用于竖直地移动所述头部分；和第二致动器,所述第二致动器用于至少旋转所述头部分的所述一部分。