一种真空管式炉系统

摘要

本发明公开了一种真空管式炉系统，包括依次连通的工作管、波纹管和四通管，工作管一端通过进气端接头连接进气管道，工作管另一端通过抽气端接头连接波纹管，所述工作管、波纹管和四通管形成的通路由四通管分成两条支路，第一条支路通过开关阀和三通管连接到真空泵，第二条支路通过缓冲过滤器、针阀、电磁阀和三通管连接到真空泵；还包括用于测量通路内气压的气压计和电路自动控制系统。本发明真空管式炉系统采用两路抽气通道，抽气能力可以实现宽范围调节，气压可以在较宽的范围内得到精确控制；另外，本系统利用电磁阀和缓冲过滤器实现气压的自动控制和调节；本发明真空管式炉系统气密性好、气压控制精确，可用于富含粉尘的气氛。

主权项

一种真空管式炉系统，其特征在于：包括依次连通的工作管、波纹管和四通管，所述工作管一端通过进气端接头连接进气管道，所述工作管另一端通过抽气端接头连接波纹管，所述工作管、波纹管和四通管形成的通路由四通管分成两条支路，第一条支路通过开关阀和三通管连接到真空泵，第二条支路通过缓冲过滤器、针阀、电磁阀和三通管连接到真空泵；还包括用于测量通路内气压的气压计和用于控制电磁阀启闭的电路自动控制系统。