| 发明名称 | 封装的MEMS器件和对封装的MEMS器件进行校准的方法 | ||
| 摘要 | 公开了封装的MEMS器件和用于对封装的MEMS器件进行校准的方法。在一个实施例中，封装的MEMS器件包括载体、设置在基板上的MEMS器件、设置在载体上的信号处理器件、设置在载体上的确认电路；以及设置在载体上的密封，其中，该密封将MEMS器件、信号处理器件和存储元件密封。 | ||
| 申请公布号 | CN106115611A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201610527415.3 | 申请日期 | 2013.04.23 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | S.巴岑;R.黑尔姆;C.赫楚姆;M.克罗普菲奇;M.武策尔 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81C99/00(2010.01)I;H04R19/04(2006.01)I;H04R29/00(2006.01)N | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 姜甜 |
| 主权项 | 一种封装的MEMS器件，包括：载体；MEMS器件，设置在载体上；信号处理器件，设置在载体上；确认电路，设置在载体上；以及密封，设置在载体上，其中，该密封将MEMS器件、信号处理器件和确认电路密封。 | ||
| 地址 | 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1－12号 | ||