电光装置、电光装置的制造方法及电子设备

摘要

本发明提供一种电光装置、电光装置的制造方法及电子设备，在电光装置中，形成于元件基板上的镜由框状的隔离片和连续在隔离片上的板状的透光罩而密封。在隔离片的外表面和透光罩的侧面上形成有无机阻挡层，由该无机阻挡层覆盖隔离片与透光罩的边界。

主权项

一种电光装置，其特征在于，具有：元件基板；镜，设于所述元件基板的第一面侧；驱动元件，设于所述元件基板的所述第一面侧，用于驱动所述镜；框状的隔离片，在俯视观察中包围在所述镜和所述驱动元件的周围，且第一端部固定于所述元件基板；透光罩，以所述镜位于所述元件基板与所述透光罩之间的方式设于所述第一面侧，其中，所述透光罩固定于所述隔离片的与所述第一端部相反侧的第二端部，并具有透光性；以及无机物层，覆盖所述隔离片与所述透光罩的边界。