超声波传感器及其制造方法

摘要

本发明提供超声波传感器及其制造方法，能够确保高可靠性。该超声波传感器具备：沿着XY平面的基板(10)；多个空间(12)，其沿X轴方向以及Y轴方向中的至少一个方向形成于基板；振动板(50)，其以封闭空间的方式设置于基板上，并具有靠基板侧的第1面(50a)以及与该第1面对置的第2面(50b)；压电元件(300)，其设置于振动板的第2面侧中的与空间对应的部分，发送以及/或者接收超声波；以及包围板(40)，其设置于振动板的第2面侧，并包围压电元件的周围的区域，在包围板的靠压电元件侧的面(40b)与振动板的第2面之间，并且在不与压电元件重叠的位置设置有支承部件(41)。

主权项

一种超声波传感器，其特征在于，在将相互正交的两个轴设为X轴以及Y轴，将由所述X轴以及Y轴形成的平面设为XY平面时，所述超声波传感器具备：沿着所述XY平面的基板；多个空间，所述多个空间沿所述X轴方向以及所述Y轴方向中的至少一个方向形成于所述基板；振动板，其以封闭所述空间的方式设置于所述基板上，并具有靠所述基板侧的第1面以及与该第1面对置的第2面；压电元件，其设置于所述振动板的所述第2面侧中与空间对应的部分，并发送以及/或者接收超声波；以及包围板，其设置于所述振动板的所述第2面侧，并包围所述压电元件的周围的区域，在所述包围板的所述压电元件侧的面与所述振动板的所述第2面之间，并且在不与所述压电元件重叠的位置设置有支承部件。