旋转阀

摘要

提供一种实现高精度的开度控制的旋转阀。流量控制阀(旋转阀)(8)中设有阀开度设定值修正部(20C)和修正表存储部(20D)。使修正表存储部(20D)存储表示与阀芯(14)的开度和阀芯(14)的前后差压的组合相对应的阀开度修正值(α)的修正表(TA)。在阀开度设定值修正部(20C)中，修正值取得部(20C2)从修正表(TA)取得与阀芯(14)的实际开度(θpv)和前后差压(ΔP)相对应的阀开度修正值(α)，作为考虑了阀轴(15)的扭转量的修正值(α)发送给设定值修正部(20C1)。设定值修正部(20C1)用考虑了阀轴(15)的扭转量的修正值(α)对阀开度设定值(θsp)进行修正，并作为被修正了的阀开度设定值(θsp’)发送给阀开度控制部(20A)。

主权项

一种旋转阀，其特征在于，包括：阀芯，其对流体所流经的流路的开闭量进行调节；阀轴，其与所述阀芯结合；驱动部，其使所述阀轴旋转；阀开度检测器，其根据所述阀轴的旋转位置来检测所述阀芯的实际开度；阀开度控制部，其将利用所述阀开度检测器检测出的所述阀芯的实际开度作为阀开度实测值，并对所述驱动部的所述阀轴的旋转量进行控制，以使该阀开度实测值与阀开度设定值一致；及阀开度设定值修正部，其用考虑了所述阀轴的扭转量的修正值对所述阀开度设定值进行修正。