发明名称 一种真空自密封光学洁净系统
摘要 本实用新型提供了一种真空自密封光学洁净系统,该方案包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元;自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接;操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。该方案结合真空自密封设备研制技术、抽真空技术、氮气置换技术、真空及洁净度环境监测技术等多种手段,为光学传输通道提供了的可实现高真空度的自密封与洁净的环境系统。
申请公布号 CN205643851U 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201521067129.0 申请日期 2015.12.21
申请人 中国工程物理研究院应用电子学研究所 发明人 吴春霞;鲜玉强;陈永亮;张林;严从林;张伟;陈涛;叶长春;苏友斌
分类号 G02B27/00(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I 主分类号 G02B27/00(2006.01)I
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人 卿诚;吴彦峰
主权项 一种真空自密封光学洁净系统,其特征是:包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元;所述自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接;所述操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。
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