| 发明名称 | 图案颠反膜形成用组合物和颠反图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于，提供能够用通常在抗蚀剂图案的剥离中使用的有机溶剂进行重新加工的、含有硅原子的图案颠反膜形成用组合物。因而提供了一种含有聚硅氧烷、添加剂和有机溶剂的图案颠反膜形成用组合物，其特征在于，所述聚硅氧烷具有下述式(1)所表示的结构单元和式(2)所表示的结构单元，(式(1)中、R<sub>1</sub>表示碳原子数1～8的烷基。)(式(2)中、R<sub>2</sub>表示丙烯酰氧基或甲基丙烯酰氧基，n表示2～4整数。)，并且所述添加剂为具有羧基和/或羟基共至少2个的有机酸，并且提供了使用该组合物而成的图案颠反膜、和颠反图案的形成方法。<img file="DDA0000385550270000011.GIF" wi="1321" he="219" /> | ||
| 申请公布号 | CN103443711B | 申请公布日期 | 2016.10.12 |
| 申请号 | CN201280014532.X | 申请日期 | 2012.02.24 |
| 申请人 | 日产化学工业株式会社 | 发明人 | 境田康志;谷口博昭 |
| 分类号 | G03F7/40(2006.01)I;C08G77/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 李照明;段承恩 |
| 主权项 | 一种图案颠反膜形成用组合物，是含有聚硅氧烷、添加剂和有机溶剂的图案颠反膜形成用组合物，其特征在于，所述聚硅氧烷具有下述式(1)所表示的结构单元和式(2)所表示的结构单元，<img file="FDA0000959801890000011.GIF" wi="526" he="174" />式中，R<sub>1</sub>表示碳原子数1～8的烷基，<img file="FDA0000959801890000012.GIF" wi="518" he="214" />式中，R<sub>2</sub>表示丙烯酰氧基或甲基丙烯酰氧基，n表示2～4的整数，并且，所述添加剂为具有羧基和/或羟基共至少2个的有机酸，所述添加剂为选自马来酸、柠檬酸、水杨酸、3－羟基苯甲酸、4－羟基苯甲酸、2,6－二羟基苯甲酸、3,5－二羟基苯甲酸、没食子酸、邻苯二甲酸、均苯四甲酸和抗坏血酸中的有机酸。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||