发明名称 磁盘用玻璃基板、磁盘
摘要 本发明的磁盘用玻璃基板的特征在于,在以大概10nm的间隔取得了主表面的斜率的样本的情况下,斜率的平方的平均值在0.0025以下、且斜率的平方的值在0.004以上的频次在15%以下。
申请公布号 CN104603878B 申请公布日期 2016.10.12
申请号 CN201380045657.3 申请日期 2013.06.28
申请人 HOYA株式会社;HOYA玻璃磁盘越南第二公司 发明人 板谷旬展;越阪部基延;泷泽利雄
分类号 G11B5/84(2006.01)I;G11B5/73(2006.01)I 主分类号 G11B5/84(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;朱丽娟
主权项 一种磁盘用玻璃基板,其特征在于,在根据使用原子力显微镜对磁盘用玻璃基板的主表面上的1μm×1μm的测定区域进行测定得到的、对于垂直的2个方向x、y各自的9.76nm间隔的高度Z,算出了斜率的平方的平均值和斜率的平方的值的情况下,【式1】<img file="FDA0000999310840000011.GIF" wi="1501" he="231" />【式2】<img file="FDA0000999310840000012.GIF" wi="1222" he="231" />所述斜率的平方的平均值在0.0025以下、且所述斜率的平方的值在0.004以上的频次在15%以下,其中,A为测定区域的面积,所述斜率的平方的平均值是对由式(1)算出的方均根斜率Sdq进行平方而得到的值,所述斜率的平方的值是对由式(2)算出的斜率dq进行平方而得到的值,所述斜率是指,在采用了主表面上的规定的微小间隔的2点的情况下,将该2点中的高度的变化量除以微小间隔的长度而得到的值。
地址 日本东京都