固晶夹具

摘要

本实用新型公开一固晶夹具，适用于固定半导体以供相匹配的固晶机固晶，在固晶或排布芯片时可调节载板图案的X、Y轴方向与固晶机系统X、Y轴方向一致，提高了在载板上固晶或排片的位置精度；同时夹具对载板设计有缓冲作用，可减小固晶或排片时载板的左右移动，保证固晶或排片过程的稳定。

主权项

一固晶夹具，其特征在于，包括：一基座，其具有一容纳槽，以用于安置一载板；至少一微调装置，其包括一微调元件以及一调节固定器，所述微调元件通过所述调节固定器组装于所述基座，并且用来调节所述载板的位置。