一种自制硅片盒自动循环切换装置

摘要

本实用新型提供了一种自制硅片盒自动循环切换装置，包括无杆气缸和导向滑轨，所述无杆气缸通过连接块连接到导向滑轨，所述导向滑轨滑块上固定硅片盒固定板，硅片固定板上固定可拆卸硅片盒上有四个。所述导向滑轨两侧上固定有吹气装置。所述硅片盒上设有取出装置。所述自制硅片盒为四个。本实用新型通过自制可拆卸硅片盒固定在硅片盒固定板上，通过无杆缸动作，实现无需手动将硅片盒连同硅片盒固定板拉出，使得设备不需要停机，减少了工作人员的工作量，同时也提升了工作效率。

主权项

一种自制硅片盒自动循环切换装置，其特征在于，包括无杆气缸(1)和导向滑轨(3)，所述无杆气缸(1)通过连接块(2)连接到导向滑轨(3)，所述导向滑轨(3)上设有滑块，滑块上固定连接硅片盒固定板(8)，硅片盒固定板(8)上固定2个以上的可拆卸的硅片盒(4)。