发明名称 由固体材料制备化合物或其中间体以及使用该化合物和中间体的设备和方法
摘要 描述了一种设备,包括反应区,用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触,和开口,用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行,而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中,反应物气体与中间产物的反应是可逆的,且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区,从而抑制形成反应性固体的逆反应。
申请公布号 CN103201824B 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201180052929.3 申请日期 2011.08.28
申请人 恩特格里斯公司 发明人 O·比尔;E·E·琼斯;C·派迪;J·D·斯威尼
分类号 H01L21/265(2006.01)I 主分类号 H01L21/265(2006.01)I
代理机构 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人 苏萌;钟守期
主权项 一种由硼固体反应物料制备硼化合物或中间体的设备,包括其中布置有一个套的反应腔,所述套容纳元素硼固体,所述反应腔与气体BF<sub>3</sub>源偶联,并且构造为用于使气体BF<sub>3</sub>与元素硼固体接触以在有效形成BF作为中间体物质的温度和压力条件下反应;和开口,用于使气体BF<sub>3</sub>的未反应部分和中间体物质BF离开反应腔,所述开口包括沿套的表面形成的多个开口。
地址 美国马萨诸塞州