一种桥式对称结构的双真空规材料放气率测试方法

摘要

本发明公开了一种桥式对称结构的双真空规材料放气率测试方法。使用本发明能够消除系统各本底对材料本身放气率测量带来的影响，准确测量材料放气率。本发明测量装置包括抽气系统、真空规I、真空规II、阀门I～阀门IV、下游室、上游室、样品和小孔，通过4个阀门切换，利用同一支主测量真空规测量压力计算总放气量，利用同一支辅助测量真空规测量压力计算主测量真空规的吸放气量，提高了测量精度，且测量装置简单，测量方法简单可靠。

主权项

一种桥式对称结构的双真空规材料放气率测试方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，搭建测量装置：所述测量装置包括抽气系统、真空规I(1)、真空规II(10)、阀门I(2)、阀门II(3)、阀门III(8)、阀门IV(9)、下游室(4)、上游室(5)和小孔(7)；其中，上游室(5)通过小孔(7)与下游室(4)连接，抽气系统与下游室(4)连接；真空规I(1)通过阀门II(3)与上游室(5)连接，同时又通过阀门I(2)与下游室(4)连接；真空规II(10)通过阀门III(8)与上游室(5)连接，同时又通过阀门IV(9)与下游室(4)连接；步骤2，将待测材料的样品(6)放入上游室(5)内，关闭阀门I(2)、阀门II(3)、阀门III(8)和阀门IV(9)；开启抽气系统，对上游室(5)和下游室(4)连续抽气；步骤3，打开阀门II(3)和阀门IV(9)，用真空规I(1)测量上游室(5)内的压力，其值记为p₁；步骤4，关闭阀门IV(9)，打开阀门III(8)，用真空规II(10)测量上游室(5)内的压力，其值记为p′₁；步骤5，关闭阀门II(3)，打开阀门I(2)，用真空规I(1)测量下游室(4)内压力，其值记为p₂，同时用真空规II(10)测量上游室(5)内的压力，其值记为p″₁；步骤6，关闭抽气系统以及阀门I(2)、阀门II(3)、阀门III(8)和阀门IV(9)，取出样品(6)后开启抽气系统对上游室(5)和下游室(4)连续抽气；步骤7，打开阀门II(3)和阀门IV(9)，用真空规I(1)测量上游室(5)内的压力，其值记为p₃；步骤8，关闭阀门IV(9)，打开阀门III(8)，用真空规II(10)测量上游室(5)内的压力，其值记为p′₃；步骤9，关闭阀门II(3)，打开阀门I(2)，用真空规I(1)测量下游室(4)内压力，其值记为p₄，同时用真空规II(10)测量上游室(5)内的压力，其值记为p″₃；则样品(6)的放气率q为$q=\frac{Q_1}{S}$其中S为样品(6)的表面积；Q₁为样品(6)的放气量，Q₁＝Q‑Q₂‑Q₃；其中，Q＝C(p₁‑p₂)，Q₂＝C(p′₁‑p″₁)，Q₃＝C[(p₃‑p₄)‑(p′₃‑p″₃)]，C为小孔(7)的流导值。