一种无残余层的卷对卷纳米压印设备

摘要

一种无残余层的卷对卷纳米压印设备，该设备包括传输机构、涂覆机构、压印机构、固化机构；传输机构包括两组进料辊/收料辊，第一组将待压印液态聚合物物送至压印机构、并携带走残余层聚合物，另一组用于接收压印机构上的成形固化聚合物；当缠绕于进料辊/收料辊上的薄膜与压印机构中的模板辊分离时，聚合物被撕裂，残余层聚合物随薄膜前进，余下聚合物正好完全充满模板辊图案；在模板辊下方完成残余层剥离的聚合物旋转到上方时，受固化机构的作用而固化成型，当模板辊与上方薄膜分离时，固化成型的聚合物完全跟随薄膜前进，得到无残余层的图案。本实用新型可以连续、高效、廉价地进行无残余层纳米尺度图案转移。

主权项

一种无残余层卷对卷纳米压印设备，其特征在于，该纳米压印设备包括：传输机构，包括两组进料辊/收料辊，其中一组位于另一组的下方；每组进料辊/收料辊上均缠绕有一组待压印薄膜；两组待压印薄膜反向传输；该传输机构用以控制待压印材料沿着特定方向、以特定速度传输；涂覆机构，位于下方进料辊之后，包括点胶机、网纹辊和衬辊；点胶机位于网纹辊的前上方，向网纹辊输出液态聚合物；网纹辊和衬辊呈上下布置相互挤压，中间通过从进料辊传来的待压印薄膜，二者配合作用使点胶机中输出的待压印液态聚合物均匀涂覆于待压印薄膜上；压印机构，位于涂覆机构之后，包括一个表层设有待转移的图案的模板辊、至少两个与模板辊的上方和下方压紧的压辊；两组待压印薄膜分别从压辊和模板辊之间穿过，从而将图案压印在位于待压印薄膜上的聚合物材料上；固化机构，位于压印机构上方，使模板辊上方的聚合物材料固化成形；其中，位于压印机构的下方的进料辊/收料辊，将待压印液态聚合物物送至压印机构，并携带走残余层聚合物；位于压印机构的上方的进料辊/收料辊，用于接收压印机构上的成形固化聚合物；保证获得的图案无残余层保留。