发明名称 |
一种平面度检测方法 |
摘要 |
本发明公开了一种平面度检测方法,该方法利用的检测系统由摄像元件、显示元件和图像处理元件组成。首先进行摄像元件标定,再在测量位置放置一块参考平面,在显示元件上显示标准的结构特征图样,并投影在该参考平面上,经反射后由摄像元件进行拍摄,作为参考图样。再将被测平面放在同一位置,同样采用摄像元件拍摄经其反射的图样,就是测量图样。通过测量特征图样与参考标准图样进行对比分析,结合测量系统的结构参数,就可以计算得到被测平面的面形误差分布。本发明的平面度检测方法具有检测精度高、成本低、使用方便和检测系统结构简单的优点,具有广阔的应用前景。 |
申请公布号 |
CN105865378A |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201610191731.8 |
申请日期 |
2016.03.30 |
申请人 |
苏州精创光学仪器有限公司 |
发明人 |
尚修森;尚修鑫;孙晓敏;汪旭东 |
分类号 |
G01B11/30(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/30(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种平面度检测方法,其特征在于:该方法利用的检测系统包括摄像元件(1)、显示元件(2)和图像处理元件(4),该方法的步骤在于:首先进行摄像元件(1)标定;再将一块参考平面放置于测量位置,在显示元件(2)上显示标准的结构特征图样,并投影到参考平面,反射后被摄像元件(1)所记录,作为参考图样;然后将被测平面(3)放置于同一测量位置,同样采用摄像元件(1)拍摄经其反射的图样,作为测量图样;通过对比分析参考图样与测量图样的差异,结合检测系统的结构参数,就可以计算被测平面(3)的面形误差。 |
地址 |
215334 江苏省苏州市昆山市开发区章基路189号1栋201 |