一种基于射线的驻极体极化装置及其极化方法

摘要

本发明公开了一种基于射线的驻极体极化装置及其极化方法。本发明的驻极体极化装置包括：防护箱体、射线发生器、样品固定组件、支撑架、金属薄膜和高压偏置电源；射线覆盖区域内的金属薄膜、待极化的驻极体样品和样品台周围空间充满高密度等离子体；接高电压的金属薄膜与接地的导电样品台之间形成了高压偏置电场；等离子体内的正电荷和负电荷在偏置高压电场的作用下分离并沿着相反方向移动，从而实现特定电性的电荷吸附在待极化的驻极体样品的表面。本发明无需真空环境、结构简单、快速高效；极化时间可从传统的电晕极化5～20分钟时间缩短到10秒量级；同时实现了对封装外壳内的驻极体进行快速极化。

主权项

一种基于射线的驻极体极化装置，其特征在于，所述驻极体极化装置包括：防护箱体、射线发生器、样品固定组件、支撑架、金属薄膜和高压偏置电源；其中，所述防护箱体为具有射线防护功能的金属箱体结构；所述射线发生器包括放置在防护箱体外部的射线供电装置以及与其相连接的设置在防护箱体内的顶部的射线发生装置和射线照射装置；所述样品固定组件设置在防护箱体内的底部且正对射线发生装置和射线照射装置，包括绝缘的样品台支柱以及设置在其上的导电的样品台；所述待极化的驻极体样品的下表面涂覆有金属背电极，放置在导电的样品台上，实现了金属背电极与样品台的电学连通；在样品台上且在待极化的驻极体样品外设置绝缘的支撑架，在支撑架上设置金属薄膜覆盖待极化的驻极体样品，并且金属薄膜与待极化的驻极体样品之间具有间距；所述金属薄膜和样品台分别通过导线连接至防护箱体外的高压偏置电源的高压端和接地端。