一种笔形海绵固定装置

摘要

本发明公开了一种改良的笔形海绵固定装置，其设置在化学机械研磨设备中第二阶段清洁器的机械臂的端部；固定装置包含固定器、套设在固定器底端处的套筒，以及套设在套筒外壁上的轴套；外接的笔形海绵嵌设在套筒的内圈中；套筒、轴套和固定器的侧壁上若干个相对应的位置处设有连通的螺孔；本固定装置还包含对应设置在套筒和轴套侧壁上若干螺孔中的一个或若干个螺钉固定装置。本发明在现有技术仅采用套筒对笔形海绵进行固定的基础上，再在轴套、套筒和固定器侧壁上设有一个或若干个螺钉固定装置，通过螺丝旋进使套筒夹紧笔形海绵，进一步地将笔形海绵固定在固定器上，避免在生产过程中发生笔形海绵脱落而导致晶圆损坏报废的事故。

主权项

一种柱形海绵固定装置，化学机械研磨设备中设有第二阶段清洁器，该第二阶段清洁器包含用于放置晶圆的平台（7’），以及设置在平台（7’）一侧的机械臂（6’），本固定装置设置在该机械臂（6’）的端部；该固定装置包含固定器（2）、套设在所述固定器（2）底端处的套筒（3），以及套设在所述套筒（3）外壁上的轴套（5）；外接的柱形海绵（1）嵌设在所述套筒（3）的内圈中；其特征在于，所述的套筒（3）、轴套（5）和固定器（2）的侧壁上若干个相对应的位置处设有连通的螺孔；本固定装置还包含对应设置在所述套筒（3）和轴套（5）侧壁上若干螺孔中的一个或若干个螺钉固定装置（4）；所述的螺钉固定装置（4）包含串设在所述轴套（5）、固定器（2）和套筒（3）相套叠的侧壁上的螺孔中的螺丝（41），以及套设在所述螺丝（41）上的螺帽（42）。