发明名称 |
微细结构体的制造方法 |
摘要 |
本发明可广泛地应用于使用辊子和热塑性熔融树脂的注塑模制法、注射压缩模制法、中空模制法、薄膜片材模制法等。本发明的目的是提供一种用于制造具有精细结构的模制产品的方法,所述方法可使用各种热塑性熔融树脂转移模制微细结构而不特别地需要加压设备,并且所述方法能够获得具有高经济效率、大面积和均匀特性的纳米级微细图案。本发明包括以下步骤:在设有包含具有10nm至1μm宽度的凹凸部分的微细结构的受热控模具中形成热塑性熔融聚合物层,使得该热塑性熔融树脂层与已经保持在预定温度下的所述压膜模具的微细结构接触;并将该层保持预定时间,从而在重力的作用下将该压膜模具的微细结构转移到所述热塑性熔融聚合物层。 |
申请公布号 |
CN103313839B |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201180062519.7 |
申请日期 |
2011.12.01 |
申请人 |
株式会社日本制钢所 |
发明人 |
内藤章弘;古木贤一;伊东宏;烧本数利 |
分类号 |
B29C59/02(2006.01)I;B29C43/34(2006.01)I;B29C43/52(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
B29C59/02(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
蔡石蒙;车文 |
主权项 |
一种具有精细结构的模制产品的制造方法,所述方法包括如下步骤:在具有包含10nm至1μm宽度的凹凸图案的精细结构的温控压模模具中,在模具上涂覆热塑性熔融聚合物,形成将要与已经保持在预定温度下的所述压模模具的所述精细结构接触的热塑性熔融聚合物层,所述热塑性聚合物不包含有机溶剂;根据在每个模具温度下的保持时间与渗透长度之间的关系曲线图,将所述热塑性熔融聚合物层保持预定时间,所述预定时间是充分保证所述熔融聚合物到达所述精细结构的凹图案处的时间段,从而在重力作用下将所述压模模具的所述精细结构转录到所述热塑性熔融聚合物层;不执行使热塑性熔融聚合物层相对模具加压的加压步骤;冷却并固化转录后的热塑性熔融聚合物层;以及随后从所述压模模具释放固化后的热塑性熔融聚合物层。 |
地址 |
日本东京 |