坩埚盖板

摘要

本发明公开了一种坩埚盖板，包括用于设置在石英坩埚顶部的盖板本体，盖板本体的顶壁上设有用于提高盖板本体的抗弯强度的加强筋，且盖板本体的每个边角处均设有加强筋。此种坩埚盖板中的盖板本体的每个边角处均设置有加强筋，可以提高盖板本体的抗弯强度，防止边角翘曲变形，降低因盖板本体的边角翘曲而发生拉弧打火的几率；此外，加强筋的设置加强了盖板本体在整体上的强度，有利于延长坩埚盖板的使用寿命；另外，设置加强筋后不需要通过增加盖板本体的厚度、降低盖板本体的宽厚比即可提高抗弯强度，有利于降低材料成本与生产成本，减轻整板重量，便于工作人员的取放操作。

主权项

一种坩埚盖板，包括用于设置在石英坩埚顶部的盖板本体(2)，其特征在于，所述盖板本体(2)的顶壁上设有用于提高所述盖板本体(2)的抗弯强度的加强筋(1)，且所述盖板本体(2)的每个边角处均设有所述加强筋(1)。