| 摘要 |
1. Эксимерный лазер, содержащий:внешний цилиндрический корпус, обрамляющий заполненную рабочей газовой средой лазерную камеру с газодинамическим трактом, два газоразрядных модуля, систему прокачки рабочей газовой среды через указанные газоразрядные модули и систему охлаждения рабочей газовой среды, при этом каждый газоразрядный модуль имеет высоковольтный и заземленный электроды и УФ предыонизатор, оснащенный системой формирования протяженного однородного завершенного разряда, скользящего по поверхности диэлектрической пластины,систему питания газоразрядных модулей,два диэлектрических цилиндрических контейнера, установленных внутри внешнего цилиндрического корпуса параллельно друг другу на расстоянии, обеспечивающем размещение между ними двух упомянутых газоразрядных модулей, при этом каждый диэлектрический цилиндрический контейнер оснащен собственным газоразрядным модулем, размещенным на внешней поверхности этого диэлектрического контейнера, при этом газоразрядные модули закреплены на обращенных друг к другу участках стенок диэлектрических контейнеров так, что их высоковольтные электроды расположены в одной плоскости, при этом элементы системы питания соответствующего газоразрядного модуля, по крайней мере, частично размещены внутри диэлектрического контейнера, на стенке которого закреплен этот газоразрядный модуль.2. Эксимерный лазер по п. 1, в котором заземленные электроды газоразрядных модулей соединены друг с другом.3. Эксимерный лазер по п. 1, в котором заземленные электроды газоразрядных модулей выполнены в едином блоке.4. Эксимерный лазер по п. 1, в котором диэлектрические контейнеры вы |
