| 摘要 |
적은 양의 세정액으로 웨이퍼를 효율적으로 세정할 수 있고, 효율적으로 가열 웨트 세정 처리할 수 있는 웨이퍼 세정기 및 그 방법을 제공한다. 본 발명은, 웨이퍼(W)가 설치되는 스테이지(34)와, 스테이지(34)를 주위 방향으로 회전시키는 회전 구동부(34b)와, 스테이지(34)에 설치된 웨이퍼(W)에 대향하여 설치되고, 스테이지(34)에 설치된 웨이퍼(W) 상에 세정액(L)을 공급하는 액 토출 노즐(35)과, 스테이지(34)에 설치된 웨이퍼(W)와 액 토출 노즐(35)의 사이의 공간(S)에, 이 공간(S)을 채우는 소정량의 세정액(L)을 액 토출 노즐(35)로부터 공급시키는 컨트롤 유닛(4)을 구비한다. 또한, 스테이지(34)에 설치된 웨이퍼(W)에 면한 위치에 설치되고, 적어도 웨이퍼(W)와 세정기(L)와의 계면 부분을 가열하는 램프(34e)를 구비한다. |
