发明名称 |
多功能显微共焦光谱仪 |
摘要 |
本发明公开了一种多功能显微共焦光谱仪,包括激光器模块、光路耦合与输出主模块、照明观测模块、显微模块和信号检测模块;其中,该光路耦合与输出主模块、照明观测模块二者共用同一基座,激光器模块固定在该基座后侧面,显微模块固定在该基座前侧面,信号检测模块固定在该基座的右侧面。本发明可以实现样品以及相应激光斑点的显微观测,能够方便地进行样品拉曼信号和光致发光信号的显微共焦测试,具有结构简单、稳定性好、调节方便和便于扩展的优点。 |
申请公布号 |
CN105737986A |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201610298186.2 |
申请日期 |
2016.05.06 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
谭平恒 |
分类号 |
G01J3/44(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01J3/44(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种多功能显微共焦光谱仪,其特征在于,该多功能显微共焦光谱仪包括激光器模块、光路耦合与输出主模块、照明观测模块、显微模块和信号检测模块;其中,该光路耦合与输出主模块、照明观测模块二者共用同一基座,激光器模块固定在该基座后侧面,显微模块固定在该基座前侧面,信号检测模块固定在该基座的右侧面。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |