| 摘要 |
본 발명은 워크피스들, 바람직하게는 큰 기판들의 표면을 프로세싱하기 위한 방법, 그리고 이 방법을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따라, 프로세싱 장치들은 진공 챔버 내의 드럼-형 캐리어의 원통형 표면 상에 배열된다. 워크피스는 드럼에 걸쳐 수송되고, 그리고 선택적으로 회전하는 것이 유발된다. 드럼-형 캐리어는 의도된 프로세싱 장치가 워크피스들을 향하고 그리고 워크피스를 프로세싱할 수 있는 방식으로 회전된다. 프로세싱될 표면 섹션은 워크피스를 병진하고 그리고 회전함으로써 선택될 수 있다. |
