| 发明名称 | 一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器；用于解决现有光纤干涉仪的干涉光路非常长，存在严重的偏振信号衰落和信号温度漂移，影响测量精度的问题。本发明的微腔干涉流速压差敏感结构包括传输光纤、壳体、设置在壳体内的光纤准直器和光分束立方；光分束立方连接有并套设在壳体上的用于感知流体静压力的第一压力敏感膜片以及用于感知流体流速压力的第二压力敏感膜片；光纤准直器将传输光纤中的光波信号准直并输出到光分束立方上，并将第一、第二压力敏感膜片反射回来产生的干涉光波信号耦合进传输光纤；光分束立方将光纤准直器输出光分成两束，并使第一、第二压力敏感膜片的反射光产生干涉形成携带有流速压差信息的干涉光波信号。 | ||
| 申请公布号 | CN103697954B | 申请公布日期 | 2016.06.15 |
| 申请号 | CN201310737286.7 | 申请日期 | 2013.12.27 |
| 申请人 | 电子科技大学 | 发明人 | 代志勇 |
| 分类号 | G01F1/66(2006.01)I;G01P5/26(2006.01)I | 主分类号 | G01F1/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人 | 徐丰;杨保刚 |
| 主权项 | 一种微腔干涉流速压差敏感结构，其特征在于，包括传输光纤（1）、壳体（3）、设置在壳体内的光纤准直器（4）和光分束立方（5）；所述光分束立方（5）连接有并套设在壳体上的用于感知流体静压力的第一压力敏感膜片（7）以及用于感知流体流速压力的第二压力敏感膜片（6）；所述光纤准直器（4）将传输光纤（1）中的光波信号准直并输出到光分束立方（5）上，并将第一、第二压力敏感膜片反射回来产生的干涉光波信号耦合进传输光纤（1）；所述光分束立方（5）将光纤准直器（4）输出光分成两束，并使第一、第二压力敏感膜片的反射光产生干涉形成携带有流速压差信息的干涉光波信号；所述壳体（3）内填充有用于稳固传输光纤（1）和/或光纤准直器（4）的封装填充材料（2）；所述光纤准直器为自聚焦透镜。 | ||
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号 | ||