发明名称 半導体装置の製造方法
摘要 A drain of a first transistor is formed by performing ion implantation on a semiconductor substrate using a first member as a mask for a gate electrode of the first transistor. Further, ion implantation is performed on the gate electrode of the second transistor after thinning a second member.
申请公布号 JP5930650(B2) 申请公布日期 2016.06.08
申请号 JP20110223290 申请日期 2011.10.07
申请人 キヤノン株式会社 发明人 三島 隆一;石野 英明;都甲 憲二;板橋 政次;岡部 剛士
分类号 H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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