一种测量精度高的影像测量仪

摘要

本发明公开了一种测量精度高的影像测量仪，包括CCD传感器、玻璃平台和导轨行程支撑台，还包括气浮轴承，所述玻璃平台的中间部位上方放置有待测工件，所述CCD传感器安装在待测工件的上方，所述玻璃平台通过四角的支撑脚放置在导轨行程支撑台的上方，所述气浮轴承安装在玻璃平台中间部位下方的导轨行程支撑台上，所述气浮轴承与玻璃平台之间的距离为3-8μm。本发明结构简单、使用方便，克服了尤其是大行程的影像测量仪的玻璃平台受到自身重力和待测工件重量的影响而变形的问题，使大行程影像测量仪的玻璃平台的平面度在测量时保持一致，从而提高了测量精度。

主权项

一种测量精度高的影像测量仪，其特征在于，包括CCD传感器(1)、玻璃平台(2)和导轨行程支撑台(3)，还包括气浮轴承(4)，所述玻璃平台(2)的中间部位上方放置有待测工件(5)，所述CCD传感器(1)安装在待测工件(5)的上方，所述玻璃平台(2)通过四角的支撑脚(6)放置在导轨行程支撑台(3)的上方，所述气浮轴承(4)安装在玻璃平台(2)中间部位下方的导轨行程支撑台(3)上。