Hohlkathodenzerstäubung bei Atmosphärendruck

摘要

Es wird ein Verfahren und eine Anordnung zum Abscheiden von Schichten mittels Kathodenzerstäubung einer Hohlkathode bei Atmosphärendruck beschrieben. Hierzu wird ein Target mit einer Öffnung oder Bohrung verwendet, welches in der Nähe einer Anode platziert wird. Es wird ein Prozessgas zugeführt und eine elektrische Spannung angelegt. Diese erzeugt im Wesentlichen in der Öffnung oder Bohrung ein Plasma und bewirkt einen Ionenbeschuss, der zur Kathodenzerstäubung führt. Das zerstäubte Material wird auf einem Substrat abgeschieden und erzeugt die erwünschte Schicht.